Annular saw와 Peripheral saw 의 절단 모두가 선택이 가능
높은 위치 정확도
300micron이하의 크기로 slice 가능(loss의 최소화 포함)
Edge chipping을 최소화 한채로, 1mm X 2mm 사이즈의 다이싱 가능
반자동 동작 방식
| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 | apd2_2012_web.pdf |

Annular saw와 Peripheral saw 의 절단 모두가 선택이 가능
높은 위치 정확도
300micron이하의 크기로 slice 가능(loss의 최소화 포함)
Edge chipping을 최소화 한채로, 1mm X 2mm 사이즈의 다이싱 가능
반자동 동작 방식
| 번호 | 제목 |
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| 1 | apd2_2012_web.pdf |