MEMS, 또는 마이크로 전기 기계 시스템(microelectromechanical systems)이 점차 인기가 높아지고 있습니다.
미니어처 센서, 조절 장치, 또는 작동기 등에 상업적으로 사용되는 MEMS 장치들은
전자 장치들이 직접 장비 자체에 놓이기 때문에 방해가 되는 전기 부품들이 사용되지 못하게 합니다.
IC 프로세스를 사용해 무수한 MEMS 장치들이 단일 웨이퍼에서 만들어질 수 있기 때문에
MEMS 장치들을 사용해 엄청난 비용 절감을 얻을 수 있습니다.
Logitech은 이러한 웨이퍼들이나 MEMS 장치들이 있는 단일 IC를 Angstrom 수준
이내에서 표면 지형을 평탄화하기 위해 polishing할 수 있는 CMP 시스템을 고안했습니다.