- 웨이퍼가공분야
- Product
- Chemical Polishing & Chemical Mechanical Polishing
Chemical Polishing & Chemical Mechanical Polishing
- CMP-Tribo
- Benchtop CMP System
Logitech Tribo system은 나노미터 단위의 샘플 removal 능력을 가지고 있는 장비입니다. 100mm/4" 의 Individual die나 Wafer의 가공이 가능합니다.
번호 | 제목 |
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1 | draft_-_cmp_tribo_v1013.pdf |